雙溫區(qū)滑軌管式爐
管式爐主要通過程序自動精度控溫來實(shí)現(xiàn)CVD、PVD和退火處理等實(shí)驗(yàn)手段，并且可以通過滑軌實(shí)現(xiàn)快速降溫。爐子的底部安裝有一對滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。想實(shí)現(xiàn)快速地加熱，可將加熱爐預(yù)熱至所需溫度，把爐體滑動至樣品位置。 想實(shí)現(xiàn)快速的冷卻，可在樣品處加熱完成后將爐體滑到另一側(cè)。
雙溫區(qū)滑軌爐規(guī)格參數(shù)：
配置：
雙溫區(qū)滑軌管式爐一套(帶三路流量控制系統(tǒng)一套氮?dú)?00sccm，氬氣500sccm，氫氣50sccm)，KF25抽氣口真空泵一套，法蘭改裝(兩端全部改裝，每端三個出氣口其中包括KF25抽氣接口，1/4,接口出氣口，以及真空壓力表出氣口和寶塔抽氣接口)
1、殼體結(jié)構(gòu)：雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度小于60度；爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，減少熱量的損失；內(nèi)爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
2、功率：2.5KW?
3、電壓：AC?220V??50Hz/60Hz
4、工作溫度：額定1200℃(＜1h)，連續(xù)工作1100℃
5、升降溫速率：20℃/min
6、控溫精度：±1℃
7、真空度：10-2torr(機(jī)械泵)，10-5torr(分子泵)
8、漏氣率：＜5mtorr/min
9、升溫速率:? ≤10℃/min?
10、爐管尺寸和法蘭：純度99.8％?的高純石英管；包括不銹鋼真空密封法蘭，針閥，和壓力表
11、擴(kuò)展接口：標(biāo)配KF25?adapter轉(zhuǎn)接頭；標(biāo)配VCR雙卡套接頭，爐子兩端裝有法蘭支架支架長度根據(jù)爐管尺寸定做！(非標(biāo)定制)
12、溫控系統(tǒng)：PID智能化溫度控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序；每個溫區(qū)可以立的設(shè)置，帶有過熱和斷偶保護(hù)
13、控制方法：PID自動控制
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