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洛陽西格馬高溫電爐有限公司

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1100度RTP快速升降溫退火爐\科研用RTP快速升降溫退火爐
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1100度RTP快速升降溫退火爐\科研用RTP快速升降溫退火爐

SGM 1100度開啟式RTP快速升降溫退火爐是由洛陽西格馬高溫電爐研發(fā)生產(chǎn)的的高性能快速熱處理電阻爐,為實(shí)驗(yàn)室科研用rtp快速退火爐。?1100度開啟式RTP快速升降溫退火爐采用紅外燈管加熱,通過滑動爐體實(shí)現(xiàn)快速升降溫。該系列快速升降溫退火爐造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體上下兩半設(shè)計(jì),可自由打開閉合,安全可靠,爐管外徑100mm,爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高溫保護(hù)涂層,既能降低熱量損耗,還能提高爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。試驗(yàn)樣品放置于密封的石英管內(nèi),內(nèi)部潔凈度高,可降低間接污染的可能。
RTP快速升降溫退火爐可應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、碳纖維、石墨烯生長等新型材料工藝領(lǐng)域。也同樣適用于要求升降溫速度比較快的氣氛燒結(jié)、真空淬火退火及CVD等工藝實(shí)驗(yàn)。該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合

洛陽西格馬高溫電爐可生產(chǎn)

RTP快速升降溫退火爐特點(diǎn):

1、爐體采用雙層風(fēng)冷殼體結(jié)構(gòu),爐殼合理的角度(風(fēng)冷的導(dǎo)向)設(shè)計(jì)能有效的保證爐殼所有表面的溫度低
2、爐體操作面板合理的角度設(shè)計(jì),讓您的操作觀察更加合理人性化;
3、采用真空吸附成型的高純氧化鋁纖維爐膛;表面涂有高溫氧化鋁層,可以提高加熱效率且爐膛不易開裂;
4、采用紅外燈管加熱

5、爐管采用高純石英或99剛玉爐管,兩種材質(zhì)均耐腐蝕,可承受聚冷聚熱的溫度變化、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。

6、爐體兩端安裝有爐管防護(hù)網(wǎng)及爐管法蘭支撐裝置,防止兩端裸漏的爐管高溫燙傷及爐管高溫下兩端的受力過重;

7、爐管密封法蘭及針型閥均采用304材質(zhì),進(jìn)出氣口采用通用接口,可方便客戶根據(jù)不同的工藝進(jìn)行接頭的互換,可配合我公司的真空組、流量計(jì)、混氣罐使用,可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用化;

8、采用PID溫控調(diào)節(jié),可編程30段控溫程序;恒溫精度±1℃;溫控儀表接口豐富,可實(shí)現(xiàn)通訊、聯(lián)機(jī)操作等功能;

9、設(shè)備具有超溫、斷偶報(bào)警自動斷電功能,操作簡單、安全可靠;

10、爐體自帶超溫保護(hù)及漏電保護(hù)功能,確保設(shè)備使用的安全性;


11、合理的氣路支架裝置,杜絕了氣路因自身重力而造成的爐管損壞;
12、爐體下部配有軌道,可左右移動至底部風(fēng)扇處,以達(dá)到快速冷卻的目的。
13、爐體移動自動化且有滑動限位功能,避免爐體碰撞;風(fēng)冷設(shè)計(jì),使樣品實(shí)現(xiàn)快速降溫。

RTP快速升降溫退火爐主要參數(shù):

電爐名稱

SGM1100-RTP快速升降溫退火爐

額定溫度

1100℃

長期溫度

1000℃

加熱元件

紅外燈管

溫度測量精度

±0.2℃

控溫精度

±1℃

快升溫速率

35℃/S(可按需定制)

降溫速率

1/200℃(將試樣移出加熱區(qū)域或通氮?dú)饪杉涌旖禍兀?

溫度控制

觸摸屏,PID30段程序控制。

功率

12 Kw

額定電壓

AC380V,50/60Hz

測溫元件型號

N型熱電偶

石英管規(guī)格

Φ120*900

真空度

6*10-3Pa(選配,配分子泵)

抽氣端口尺寸

Φ6mm或KF40(配分子泵用KF40接口)

進(jìn)氣端口尺寸

Φ6mm

外形尺寸

深600*寬1520*高700

設(shè)備重量

100Kg


鋁合金爐膛:鋁合金水冷鍍金爐膛,導(dǎo)熱性能好,有效提高降溫速率

石英爐膛:石英爐膛為可拆卸結(jié)構(gòu),當(dāng)爐膛內(nèi)被煙霧污染,導(dǎo)致升溫速率降低時(shí),可將石英爐膛拆下清洗

洛陽西格馬高溫電爐可根據(jù)客戶需求定制各種:非標(biāo)高溫爐、管高溫式爐、快速燒結(jié)爐、快速退火爐、快速熱處理爐、真空燒結(jié)爐、焊接爐、igbt焊接爐、真空焊接爐、實(shí)驗(yàn)室焊接爐、真空爐、真空烤瓷爐、cvd烤盤爐、mocvd烤盤爐、擴(kuò)散爐、退火爐、合金爐、交換爐、升華爐、氧化爐、氣氛爐、氫氣爐、cvd爐、隧道爐及工業(yè)爐專用爐體等各種工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室用熱處理設(shè)備。

rtp快速退火爐國外品牌有哪些?

rtp快速退火爐全稱rapid thermal processing furnace,快速退火爐是以碘鎢燈管為加熱元件,升溫速度極快,采用S型熱電偶測溫并采用國際的模糊PID控制,具有很高的控溫精度〈±5℃〉,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。

相關(guān)關(guān)鍵字:RTP快速升降溫退火爐

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