1000度RTP真空快速退火爐\滑軌快速退火爐
使用示例：
樣品加熱到1000℃后，爐膛自動(dòng)移開加熱區(qū)，冷卻氣體自動(dòng)打開直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)極速降溫，樣品溫度降到70℃時(shí)自動(dòng)關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動(dòng)到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動(dòng)開啟和關(guān)閉。快速退火爐一般都是以碘鎢燈管為加熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測(cè)溫并采用國(guó)際的模糊PID控制，具有很高的控溫精度〈±5℃〉，快速退火爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。標(biāo)準(zhǔn)配件需：高溫手套1付，熱電偶1根，石英管1根，真空法蘭1套。可選配件：氧化鋁坩堝，石英坩堝，真空泵。
真空快速退火爐爐體采用雙層鋼結(jié)構(gòu)，高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，額定節(jié)約能源；耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長(zhǎng)使用壽命；氧化鋁管塞可幫助您 在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。
洛陽西格馬高溫電爐可生產(chǎn)真空快速退火爐、快速退火爐RTP。真空快速退火爐可應(yīng)用在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等。異的溫控均勻性,的工藝重復(fù)性。
RTP真空快速退火爐主要用途：
RTP快速退火爐的主要特點(diǎn)有：可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理；控溫精度高；適合高等院校或研究機(jī)構(gòu)科研使用；主動(dòng)式水循環(huán)冷卻模式；立式設(shè)計(jì)；儀器采用觸摸屏技術(shù)：操作方便，裝取樣片簡(jiǎn)單高效；價(jià)格合理，高性價(jià)比。
RTP真空快速退火爐結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
1、紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷（低噪音水平，無需壓縮空氣）；
2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到設(shè)計(jì)初的熱處理效果；
3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設(shè)計(jì)，雙層不銹鋼；
冷壁水冷技術(shù)點(diǎn)在于：1、無記憶，2、工藝重復(fù)性高，3、冷卻速度快；
4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì)，氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面，避免在退火過程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；
5、快速數(shù)字PID控溫；
6、熱電偶配合高溫計(jì)控溫，測(cè)試樣品的溫度，控溫精準(zhǔn)；
7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；
8、設(shè)計(jì)多5路工藝氣體，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器；
9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；
10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì)，用于小樣品測(cè)試；
11、可選配分子泵，用于高真空測(cè)試；
RTP真空快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)：
| 電爐名稱 | 真空快速退火爐 | ||
| 產(chǎn)品型號(hào) | SGM.RTP1200/60IT | ||
| 電氣規(guī)格 | AC220V ?2、5KW ? | ||
| 設(shè)計(jì)溫度 | 1000 ℃ （<1小時(shí)） | ||
| 連續(xù)溫度 | 900 ℃ （連續(xù)） | ||
| 額定加熱速率 | ≤ ?20 ℃/分鐘 | ||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | ||
| 爐管尺寸 | Φ60*1000mm（直徑可選80、100、120） | ||
| 控制系統(tǒng) |
1、可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩； 2、實(shí)驗(yàn)過程更加直觀，操作更加便捷； 3、SGM.101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正； 4、具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 |
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| 溫度精度 | +/- 1 ℃ | ||
| 加熱元件 | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||
| 密封系統(tǒng) | 真空度：≤10Pa（機(jī)械泵） | ||
| 壓力測(cè)量與監(jiān)控 | 采用帶有減震油的機(jī)械壓力表，可以防止壓力表指針損壞。 | ||
| 供氣系統(tǒng) | 采用浮子流量計(jì)控制，與設(shè)備一體化，方便控制，出廠前已進(jìn)行漏氣測(cè)試工作。 | ||
| 設(shè)備使用注意事項(xiàng) |
1、?設(shè)備退火爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2、?設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過0、125MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞； 3、?真空下使用時(shí)，設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 4、?供氣鋼瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購(gòu)試驗(yàn)用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0、01MPa-0、15MPa,使用時(shí)會(huì)更加精度安全。 ?5、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； ?6、高純石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度≦1100℃ ? 7、加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0、02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） ? |
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| 服務(wù)支持 | 1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等）? | ||
真空快速退火爐使用注意事項(xiàng)：
1、 爐子次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2、 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。
3、 冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升
溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4、 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5、 爐子使用過一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6、 爐子在工作過程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。
7、 此爐適用于下列工作條件：
（1）環(huán)境溫度在/10～75℃之間。
（2）周圍環(huán)境的相對(duì)濕度不超過85%。
（3）爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
（4）沒有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。
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