實(shí)驗(yàn)電爐CVD系統(tǒng)什么意思？CVD是Chemical Vapor Deposition的簡(jiǎn)稱，是指高溫下的氣相反應(yīng)，例如，金屬鹵化物、有機(jī)金屬、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸猓瑲溥€原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬、氧化物、碳化物等無機(jī)材料的方法。
真空CVD系統(tǒng)簡(jiǎn)稱CVD系統(tǒng)，CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，額定溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

1700度管式爐

這款CVD系統(tǒng)是由8路供氣系統(tǒng)+SGM1200雙溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成

SGM1200雙溫區(qū)管式爐:以硅碳棒或電爐絲為加熱元件，有兩個(gè)加熱區(qū)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，每個(gè)加熱區(qū)能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端裝有304不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，該爐為臥式，兩個(gè)溫區(qū)可以立控制、設(shè)置不同的溫度，使用方便，操作簡(jiǎn)單。該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的不錯(cuò)產(chǎn)品.。

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1200℃單溫區(qū)CVD系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)：